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激光微納結(jié)構(gòu)加工
成果領(lǐng)域: 高端裝備制造
推廣方式: 其他
成果歸屬企業(yè): 西安交通大學(xué)
成果鑒定時(shí)間:
成果介紹
研發(fā)微納米結(jié)構(gòu)激光加工技術(shù)體系：針對納米結(jié)構(gòu)開發(fā)近場刻蝕-化學(xué)自組裝一體化工藝，突破衍射極限限制，實(shí)現(xiàn)4英寸晶圓碳管晶體管批量化制備；針對微米結(jié)構(gòu)創(chuàng)新旋切/銑削/復(fù)合切割工藝，攻克大縱橫比微孔/ 微槽加工難題。
成果應(yīng)用案例介紹
聯(lián)系方式
電話/微信: 13822630888
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